以大数据、人工智能等新一代信息技术为核心,充分挖掘企业内部数据资源和高端设备潜在能力,为半导体制造工厂提供一体化的解决方案,让高端制造走向高端智造。
1、生产现场数据孤岛
半导体工厂信息系统和自动化过程产生大量的数据,生产策越来越多地依赖于数据分析,数据对半导体制造企业的作用愈加明显。但制造过程中数据抽取、存储、组织等方面的瓶颈存在,抽取整理数据耗时耗力。并且,数据在各系统中独立存在,难以打通联动并进行综合分析。
2、设备运维成本高昂
半导体行业是典型的重资产行业,设备数量大、以进口设备为主,价格高昂,异常停机损失大。在半导体行业高性能、低成本的市场压力下,现有高成本的设备管理方式难以为继。与此同时,现有系统难以进行晶圆厂多条产线、多个机台的实时可视化监控与集中管理,设备利用效率有提升空间。
3、数据分析耗时耗力
半导体行业工艺复杂,过程影响因素繁多、关联关系复杂,且对工艺过程控制精度要求极高,需确保数据分析结果的高可靠性、高解释性。而半导体行业大数据应用示范案例较少,缺乏业务与大数据技术结合深度,具备OT和IT技术的融合人才十分稀缺,缺少专业的数据挖掘和分析工具。
4、品质依赖人工经验
良率是半导体行业的“生命线”,但是目前大部分半导体工厂的品质监测往往依赖人工经验。人员主观检测质量偏差浮动大,检测速度慢,高劳动强度容易影响准确度和效率,整体生产效率和精度有限。且制造业人员流动大,培训时间长,人工成本日益增加,依赖人工的方式难以为继。