把现场变为远程,RCM机台远程监控管理系统助力半导体设备提升稼动率
众所周知,半导体工厂拥有种类繁多的机台,统管成百上千种复杂的制造工序,且要求在无尘环境下7*24小时全天候运作、配置、维护并有效利用。这些机台设备通常会自带嵌入式电脑,用于控制和监控设备的正常运转,并进行机台数据收集、分析与审计。工作人员则必须穿上相关的无尘隔离装备、往返于无尘车间来使用这些设备,因此极大降低了生产效率、并极有可能破坏无尘环境。
j9九游会RCM(Remote Control Management)机台远程控制管理系统(以下简称RCM系统),为半导体企业的无尘车间提供KVM-over-IP监测管理解决方案,将电脑的键盘、屏幕、鼠标信号接入RCM硬件后经由特殊技术处理,通过标准以太网以及IP网络实现远程传输,为机台管理者、工程师、技术工作以及主管人员提供安全可靠的远程控制访问,以减少人员频繁出入对无尘环境造成的污染。
同时,通过加持OCR屏幕图像识别技术、RPA机器人流程自动化技术(利用脚本自动代操)、定位技术等,缩短异常处理和复机所需时间,大大提升生产效率、设备综合效率,降低产品不良率。
机台远程高效管理
如上图所示,通过标准以太网和IP网络,不论是在无尘室内还是外,j9九游会RCM系统都可对数以千计的半导体设备进行访问和控制。
而且,远距离操控机台时,拥有完全和在机台近端一样的操作体验:7*24实时监控多个产线、众多机台设备运行状态,即时获取设备动态数据、检测数据变化和实时控制生产设备;实现实时处理紧急事件,远程即可解除设备报警;提高机台管理效率。
产品良率提高
对于无尘生产车间等对生产环境的洁净程度有较高要求的场景,必须减少人员的进出,最大程度降低有机物对环境的污染,保持环境的整洁。
因为与设备和环境比起来,人其实是半导体制造工厂Fab内最不稳定的因素,极易给Fab带来各种误操作、污染以及安全事故等,但由于Fab日常运营的需要,Fab内往往充斥着设备工程师、产品制程工程师、制造工程师、IT工程师等各类人员。
通过RCM系统,可以为无尘室外的经理、工程师、技术员或监管员提供可控制的远程访问。把现场操作变为远程控制,减少人员进出无尘室,降低粉尘粒子产生概率,提高产品良率。
设备综合效率提升
半导体Fab的面积往往非常巨大,各类机台散布其中,相关人员从办公室进入Fab,经过穿无尘服,走到想要查看的机台附近,起码15分钟起。
现在,通过RCM系统,机台出现异常情况时,工程师无需进入无尘室去复机,远程即可快速响应,这省去人员跑去车间的路程时间、极大提高了异常处理的效率。另一方面,也减少了因设备误报警、无关紧要提示信息导致的设备等待快速处理的时间,提高设备的稼动率从而达到提高设备OEE的效果。
人力减少30%,自动化、智能化水平提升
现代化的自动化生产线要提高人机比,提高人员的工作效率,必须实现少量的操作人员管理大量机台设备进行生产,在工艺控制中心一套键盘鼠标操作多台设备,也是减少人员进出生产车间的有利措施。
而且工厂车间原来需要多名或十几名工人同时进行操作,现在只需要几名甚至一名即可完成一样的生产任务,这对于生产效率的提升是大有裨益的。
搭配j9九游会自主研发的RPA系统,还可以实现机器人流程自动化。简单重复的操作,机台可根据当前屏幕信息自动进行操作,完全解放人力,提高整体生产中的自动化、智能化程度。
综上所述,j9九游会RCM机台远程控制管理系统,真正实现了对现代化半导体工厂成百上千台复杂机器和设备的有效利用、监测和维护,为半导体行业产线提高工效、提升人机比例、提高机台产能、减少机台购置成本,实现自动化/智慧化提供了有效支撑。
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